| 加工定制：否 | 品牌：Canon佳能 | 型号：i4/i5/i5+;iZa/iZ+;EX5/6;ES3/4 |
| 用途：前道工序-光刻 |
供应FPA-3000i4/i5/i5+/3030i5;5500iZa/iZ+;3000EX5/6;5000ES3A/ES4A;6000ES6A等佳能Canon光刻机
1.公司拥有光刻机翻新改造的核心技术和能力。
2.针对8寸及以下的不同硅片尺寸（包括特殊材质衬底如碳化硅、氮化镓、蓝宝石等）、不同掩模版尺寸的要求，可实现自主设计、加工制造、集成调整的改造能力
3.对光刻整机系统能够进行包括光学系统在内的***翻新、调试、测试，具备***运行保障能力，包括备品备件供应等。
A. 技术能力和技术资源覆盖ASML、Nikon、Canon公司的光刻机，技术水平可以达到365nm波长248nm的6寸／8寸／12寸光刻机。
B. 针对不同特性的产品（如MEMS、CMOS、PSS、IC等），公司在关键工艺技术方面具备深刻理解设备的工艺人才资源和技术基础，能够按照不同的产品特性进行设备选型、技术匹配及工艺试验。
C. 能够根据市场实际产品指标需求进行快速工艺设备参数的调整与匹配
另、我司可供应Nikon尼康/Canon佳能光刻机设备、Tel涂胶显影机设备、扫描电镜、套刻仪、颗粒度测试仪等检测设备，
同时，我司也供应光刻机备品备件、涂胶显影机备品备件等。
光刻机Canon FPA-3000i4设备，参考图如下：
光刻机Canon FPA-3000i5设备，参考图如下：
光刻机Canon FPA-5500iZ+设备，参考图如下：
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